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半導體製程設備及配件 > EA-06 CO2 Static Elimination

EA-06 CO2 Static Elimination

EA-06 CO2 Static Elimination

型號: EA-06

產品描述

設備簡介

適用於切割、研磨等易產生靜電的製程。設備搭配CO2Bubbler,CO2離子可有效中和靜電,減少靜點對產品的影響。佳宸CO2 Bubbler,由專業團隊自主開發設計製造,採S-PID智能精密程控,全時段監控流量變化,程式會因應變化對CO2做微調,使其維持穩定濃度±0.02MΩ

 

● 成本管控

易維修・低耗材

● LED辨析設計

輕鬆辨識機況

● 精密程控

業界TOP,±0.02MΩ

● 全面性監控

智能演算調壓

● 內建數據分析

易於遠端辨識製程

● 頂尖設計

自主開發製造

 

 

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